Nossa sociedade tem conhecido progressos científico-tecnológicos no campo da ciência e da engenharia dos materiais. Neste sentido, muitas pesquisas têm sido desenvolvidas para a síntese e melhoramento das propriedades de novos materiais que atendam às nossas demandas. A deposição de filmes finos pelo método de deposição física de vapor (PVD) através do plasma é amplamente estudada para aplicações tecnológicas e desperta interesses por apresentar melhorias nas propriedades mecânicas, elétricas, químicas, tribológicas, dentre outras. Os métodos de deposição por plasma, em especial o que utiliza a técnica de gaiola catódica, vem demonstrando bastante vantagens em relação aos processos convencionais, pois apresenta uma uniformidade da camada depositada em peças de geometrias complexas submetidas a estes tratamentos superficiais. No presente trabalho, amostras de aço inoxidável austenítico AISI 316 são submetidas ao tratamento termoquímico de deposição por plasma, com a utilização de uma gaiola catódica de molibdênio, visando melhorar as propriedades mecânicas na região superficial das mesmas. As deposições são realizadas sob fluxo em volume de uma mistura gasosa de N2, O2, H2 e Argônio, sob diferentes combinações, para uma temperatura de sputtering de 350 ºC e pressão de 1,5 Torr. O tempo de tratamento é fixado em cinco horas para todos os experimentos. Após o tratamento de deposição, é possível verificar a formação de óxidos e nitretos de molibdênio, e óxidos de tungstênio no filme formado sobre o substrato. A caracterização microestrutural das camadas são avaliadas através de microscopia eletrônica de varredura (MEV), espectroscopia de energia dispersiva (EDS) e as fases presentes por difração de raios-x (DRX) e espectroscopia raman. Testes de microdureza vickers avaliam o endurecimento dos revestimentos e apresentam os valores de microdureza na superfície das amostras. Por fim, os resultados obtidos comprovam a deposição via plasma dos filmes finos e a melhora na dureza superficial do aço inoxidável AISI 316 enriquecido com molibdênio e/ou tungstênio.